浙江巨圣氟化学有限公司(以下简称巨圣公司)年产1万吨高品质可熔氟树脂(PFA)及配套项目超纯PFA产品正式量产。这标志着我国半导体、新能源等战略性产业有了自主可控的关键材料保障,氟化工产业正加速向全球价值链顶端迈进。
这款名为“超纯PFA”的产品,纯度达到半导体级要求,关键金属离子析出量稳定控制在ppt级(万亿分之一),总金属离子析出量稳定控制在ppb(十亿分之一)级别,填补国内高端氟聚合物产业化空白。
据巨圣公司介绍,纯PFA的核心难点在于“纯”。半导体制造中,哪怕是极微量的金属离子污染都可能导致芯片良率大幅下降。巨圣公司通过全工艺链正向开发,攻克原料提纯、过程控制、设备材质选择等系列技术难关,最终实现产品关键指标优于进口同类产品。
经国内头部半导体企业实测验证,巨圣超纯PFA产品可直接替代进口产品,不仅将采购成本降低,更实现“随用随供”的稳定保障。
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作者:本刊编辑部
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