兴鲁空分6N级超纯液氧装置投产实现工业级向电子级跃升

煤化工知库 2026-04-14

苏州兴鲁空分设备科技发展有限公司宣布其6N级（99.9999%）超纯液氧装置成功投产，标志着公司在高纯气体装备领域实现从工业级向电子级的关键跨越。该装置以工业级液氧（99.6%）为原料，采用其自主研发的“深冷法工艺+全组份分离法”专有技术，并结合行业主流的低温精馏技术。核心在于集成了一套专门的高纯氧塔系统（含高纯氧塔、蒸发器、冷凝器），对初步分离的氧气进行深度精馏提纯。该工艺设计旨在提高效率、减少物料浪费，并具有结构相对简单、操作方便的优点，可稳定产出纯度超过99.999%的超纯液氧产品。

日前，苏州兴鲁空分设备科技发展有限公司(兴鲁空分)宣布，其打造的6N级(99.9999%)超纯液氧装置成功投产！这一重要进展，标志着兴鲁空分在高纯气体装备领域实现了从工业级向电子级跃升的重要里程碑。

该装置以工业级液氧(99.6%O₂)为原料，凭借领先的精馏与纯化技术，可稳定产出6N级超纯液氧产品。

根据公开信息，苏州兴鲁空分设备科技发展有限公司（兴鲁空分）在其超纯液氧装置中，采用了其自主研发的核心工艺，并结合了行业主流的低温精馏技术。

核心工艺：自主研发技术

兴鲁空分在超纯液氧生产方面的核心技术是其自主研发的 “深冷法工艺+全组份分离法” 专有技术。这套技术旨在实现对空气的高效分离，并能制取纯度高达 99.999% (5N) 以上的液氧产品。

具体装置与流程

从兴鲁空分获得的专利和技术资料来看，其超纯液氧装置的具体实现方式如下：

核心设备：高纯氧塔系统
其工艺的核心在于一套专门的高纯氧制取设备。该系统主要包括：

高纯氧塔：用于对初步分离的氧气进行深度精馏，以进一步提纯。
高纯氧塔蒸发器：设置于高纯氧塔底部，利用冷却后的空气作为冷源，将塔底的液氧蒸发，同时自身被液化，为精馏过程提供能量交换。
高纯氧塔冷凝器：设置于高纯氧塔顶部，用于将液空蒸发，同时冷凝上升的氧气，为精馏提供回流液。

工艺流程集成
该高纯氧制取设备被集成在完整的空分系统中。其工作流程大致为：
原料空气经过压缩、预冷和纯化后，进入主精馏塔系统进行初步分离。
从主精馏塔（通常是下塔）得到的富氧气体或液体，被送入专门的高纯氧塔进行二次精馏。
通过高纯氧塔与其蒸发器、冷凝器的协同工作，利用不同组分沸点的差异，不断进行气液交换，最终在塔底获得高纯度的液氧产品。
技术优势
这种设计能够：

提高效率：在制取高纯氮气的同时，高效地生产高纯氧气或高纯液氧。
减少浪费：优化了能量和物料的利用，减少了气体浪费。
结构简单：专利资料显示，该装置具有结构相对简单、操作方便的优点。

综上所述，兴鲁空分的超纯液氧装置工艺是在传统低温精馏的基础上，通过集成其自主研发的“深冷法工艺+全组份分离法”技术，并采用专门设计的高纯氧塔系统，来实现对氧气的深度提纯，最终生产出纯度超过99.999%的超纯液氧。

文章内容来源煤化工知库，流程工业整理编辑，责任编辑：胡静，审核人：李峥

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