我国首条石英玻璃基板成套生产线建成

文章来源：科技日报发布时间：2016-06-08

3日从中国建筑材料科学研究总院(以下简称建材总院)获悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术，建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线，该生产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。

该生产线的建立，是建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。

石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。

作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，建材总院石英院科研人员经不懈努力，形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线，不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题，同时实现了原材料绿色制造;引入多刀切割、安全快速磨抛工艺，创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工，该院形成专利20余项，行业标准、国军标及国家标准10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，不仅逐步替代进口，而且出口欧洲、日本等国。