20世纪60年代，美国首先应宇航业所需开发出热式气体质量流量计产品，其后应用于半导体工业的制造设备上，得到很大发展，后又扩展到其他工业应用领域。这种曾经应用于高端领域的测量仪表具有哪些特点？可以应用于哪些工况呢？近期，本刊记者采访了北京阿蒂姆控制设备有限公司销售经理米东华先生，就上述问题进行了交流。

PROCESS:与其他类型的流量计相比，热式质量流量计具有哪些特点？

米东华：热式气体质量流量计采用热扩散原理，在测量要求较高的条件下性能优良、可靠性好。热式气体质量流量计和控制器主要用于对微小和中小气体、液体流量精密的测量和控制。区别于如容积式、变面积式等测量方式，热式气体质量流量计具有量程比宽，响应时间短，压损小，使用维护方便，价格适中等特点。其优点也十分显著，包括：可以直接测量质量流量或控制；精度高；操作、安装简单，安装方式灵活；重复性好；响应速度快；体积紧凑，没有移动部件；极少的维护需求和成本；可以精确测量、控制极小的流量范围。可采用模拟或数字通信方式与显示控制单元（或DCS、PLC）组成本地或远程显示、控制系统。

在大流量和较大的管道安装条件下，用户可以选择插入式热式质量流量计，同样有以上特点。

PROCESS: 热式质量流量计主要应用于哪些领域？用户在使用维护过程中需要注意哪些问题？

米东华：热式质量流量计已经在很多行业中得到了非常广泛的应用，包括：石油化工、食品饮料、生物制药等工艺过程；分析仪器、医疗仪器及环境检测设备；半导体工艺过程/平板显示器生产；冶金工业；表面处理；气体消耗量或泄漏检测/燃烧控制；发酵和生物工艺催化剂研究和测试；燃料电池生产；太阳能电池生产等。

总体来说，由于热式质量流量计的测量原理和结构紧凑的特点，安装使用维护是相对比较便利的，但也需注意以下事项：安装前应详细阅读产品使用说明书；首次运行前，对安装流量计的管线应进行彻底清理；测量液体的流量计、流量控制器或者运行系统有特殊要求的，在首次或每次启用时应遵循正确的启动步骤；流量计出现故障时应第一时间通知生产商售后服务部门，由经过培训的专业工程师检测维修。

PROCESS:目前，热式质量流量计在研发和应用中还存在哪些技术瓶颈？

米东华：由于其测量原理的原因，对于两相、状态不稳定或者含有杂质过多的介质测量有一定限制，比较适合纯净的干燥气体或纯净液体。另外，如果被测介质温度过高，同样不适合于热式质量流量计。近年来，在对精度要求不高（一般为±2%FS以下）的情况下，使用非旁路式传感器的热式质量流量计可以实现对含有少量杂质的介质的测量。例如BRONKHORST旗下的M+W公司的MASS-STREAM 63××系列产品。

PROCESS:您如何看待热式质量流量计的市场前景？

米东华：由于中国经济保持高速发展等外部驱动因素，我国成为世界上流量测量仪表需求量最大的发展中国家之一，据权威调查数字显示，全球仪器仪表行业的平均年复合增长率是3%~4%，并预测，到2013年，全球流量计市场规模将达到34.8亿美元。目前，我国自行生产的流量测量产品大多技术和生产水平不高，现状不尽人意。具有中、高技术含量的产品，进口国外公司品牌占有国内市场半数以上份额。但同类产品生产商之间的激烈竞争、国内用户对进口产品性价比要求的不断提高这些因素也使得生产商在新技术的引入和应用领域拓展上不断投入。与此同时，快速、更加贴近客户的售后服务模式，对生产商来说同样是至关重要的。在这些方面BRONKHORST作为同行业中屈指可数的专门致力于热式流量测量和控制产品研发生产的世界级生产商，一直在不懈的提高产品技术含量，更优质全面的售前、售后服务，为中国的用户提供更适合的产品解决方案。随着用户对热式质量流量计的认识越来越深入，相信凭借多方面的优良性能特点，热式质量流量计将得到更广泛的使用，进一步拓展其在中国的市场领域。