图1 TERPS-RPS 8000

GE检测控制技术 展位号：A208

继2009年12月，GE检测控制技术业务(GE Measurement & Control Solutions)旗下传感测量部门推出最新 UNIK 5000 压力传感平台完美结合成熟的硅技术、模块化模拟电路设计使用标准零件库，根据客户要求组合出不同的准确度和规格来更快定制压力传感器不久，2010年8月，该部门又推出两款最新压力传感产品：TERPS-RPS 8000与PACE 6000航空版。

最新发布新型沟槽刻蚀谐振式(TERPS)压力传感器技术平台RPS 8000，在显著提高与传统谐振压力技术相关的压力测试范围的能力的同时，提供10倍于现有的压阻式压力传感器的精度和稳定性。TERPS压力传感器工作原理和GE公司已有的谐振硅压力传感器一致。硅共振结构通过静电场而驱动，当压力施加到膜片上时，硅谐振器就像一个吉他弦一样被拉伸，改变它的频率，这种频率的变化直接与施加的压力相关。通过使用深度反应离子刻蚀工艺技术，它可以在谐振腔内构建任意复杂的几何结构。这对于优化设计和谐振器的性能以实现更高的压力范围和温度范围是非常必要的。

图2 PACE 6000

工艺的进步伴随着其他专有的设计组件，例如一个新的从谐振器中得到更强的信号的频率检测方法，使得该传感器可采用重油隔离膜片封装方式。相对于其他仅限于干燥无腐蚀性气体的高精度传感技术而言，这是一个极大的改进。此外，压力传感器中相关电子器件的近一步开发使其可以应用于更高的温度环境。

GE PACE 6000航空版为飞机机载设备的地面校验提供更高精度，灵活稳定的解决方案。它专门为航空航天应用编写的软件，对所有航空测量参数有兼容性，特别是其杰出的单量程或双量程可选配置，单台设备可以提供两个高精度校准仪器因此具有较高的成本优势。凭借其高精度，高速度和长期稳定的控制性能，PACE 6000Aero是为航空电子设备车间/实验室环境设计的一个可靠和高成本效益优势的航空校准仪表。

该产品显示/控制器采用模块化设计，可以让用户享受到快捷方便的更换部件的便捷，大大减少了维护时间和仪器控制量程更换的时间。模块化也意味着校准实验室仪器及仪表元件减少，因此为用户降低了使用成本。