钛/硅-蓝宝石表压传感器
发布时间：2011-11-02
北京俄华通仪表技术有限公司
蓝宝石由单晶绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石有非常好的弹性和绝缘特性（1000℃以内），对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性强；另外，硅-蓝宝石半导体敏感元件，无p-n漂移，因此，可应用于各种复杂环境场合。
传感器由双膜片构成：钛合金感压膜片和钛合金测量膜片。蓝宝石上异质外延硅应变敏感电路膜片，被熔焊在钛合金测量膜片上。被测压力传送到测量膜片上。在压力的作用下，钛合金测量膜片产生微应形变，该形变使电桥输出会发生变化，变化的幅值与被测压力成正比。电桥电路将电桥的失衡信号，转换为电压信号输出。
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