MAHA变螺距干式罗杆真空泵

文章来源：富通国际机械有限公司发布时间：2011-07-12

MAHA变螺距干式罗杆真空泵，设计紧凑，运行高效。螺杆与轴一体加工，最显著的特点是无需密封液，从而避免了密封液对介质的污染。它与传统的等螺距设计不同，而是采用了专利的可变螺距设计，可节省30%的能量，气体排放温度更低，从而无须冷却净化。

MHSP泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为1Torr(1.3mbar a)，而其极限真空可达0.005Torr。MAHA系列结构紧凑，高效节能的该泵的最大特点是螺杆变螺距设计，该泵比其他竞争者的干泵节能达30%以上，排出的气体温度也更低。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，MAHA泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。

螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体等 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。

MAHA变螺距真空泵，异形螺杆真空泵与MAHA等距干式螺杆真空泵。泵是卧式结构。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。

MHSP干式螺杆真空泵运转时泵腔内完全无水无油，由于是直通气路设计，MHDP和MHSP MHHP泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。由于泵腔内没有金属与金属间的接触，磨损也就大大减少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺杆泵都是水冷系统.

干式螺杆真空泵的典型应用：

• 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中

• 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒

• 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求

• 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵

• 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染

• 化学和医药流程

• 溶剂回收

• 成型

• 结晶