芯片需要超纯水

作者：本网编辑文章来源：上海乔治费歇尔管路系统有限公司发布时间：2011-07-27

图1 GF的特殊管道能抵御具有攻击性的超纯水

水在很多行业都有十分特别的要求，在芯片制造业中需要高度纯净的水。自从在德国Dresden建造第一个半导体工厂以来，AMD（Advanced Micro Devices）公司一直信赖GF管路系统公司的供水设备。

人们的生活需要高品质的饮用水，而这种饮用水如果用于生产微处理器的晶片、硅片，则具有毁灭性的结果。因为饮用水中含有盐、溶解的气体和离子（带电的微粒），其中离子在微处理器生产过程中起着重要的作用，但前提是其必须被运用在预先设定好的地方。要是它们出现在其他地方，硅片就会作废。“只要存在一块由于水不纯净而被毁的晶片，就会造成巨大的经济损失，”德国Dresden的 AMD半导体工厂的流程设备支持经理Werner Freimann强调说。在蚀刻之后，只允许超纯水——通过高科技工艺去除所有不受欢迎的成分后的饮用水——接触到高度敏感的硅片。“这种水比一般的饮用水要干净100万倍，” Freimann解释说，“而且极具攻击性。”它会从周围的环境中索回它原有的化学成分。不锈钢管道一接触高度纯净水就会被腐蚀，从而使水重新变得不洁净。因此，在半导体生产工厂里，只适合使用特殊人造材料制成的系统，GF管路系统公司可提供满足要求的管路系统。“针对30号工厂，我们专注于其超纯水、污水和工业用水的特殊处理，”位于瑞士Schaffhausen的GF管路系统公司微电子市场分部经理Wolfgang Dornfeld说。

图2 一名员工正在检测一块芯片

针对36号工厂，AMD接受了GF的“全塑解决方案”，该方案包括管道、管件、阀门、流体测量与控制、连接技术以及一个度身定制的培训、维修和运输方案。“对于客户来说，好处在于一个生产商负责了所有的环节，”Dornfeld解释说。在和30号工厂相临的36号工厂里，将加工直径为300mm的晶片代替原来的200mm，这样，每个晶片和工作步骤生产出的微处理器将为原来的2.5倍。因此，若是纯净水受到污染，造成的损失会更大。“每天，36号工厂都要生产出相当于一个13万人口的城市所需的用水量，不能有半点差错，”Dornfeld强调说。AMD已经规划建造另一个300mm晶片的生产车间以及一幢无尘厂房，在那里，300mm规格的晶片上的芯片带有电子触点并通过电子触点检测，GF是这两个项目的主要供货商。